VA・VE제안 사례

大型偏光フィルムの吸着が可能な500角の大型多孔質チャックのご提案

제품 종류： 다공성 척

제안 효과： 왜곡 억제,생산성 향상(처리량 향상),흡착흔 억제,ワークの傷防止

パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지,흡착흔 억제

Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상

코팅 변경으로 인한 정전기 확산 핸드의 불량률 감소

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 오염 방지,정전기 대책,스파클링 방지,불량률 감소

워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안

제품 종류： 소성용 세터

제안 효과： 접촉 피해 억제,기능성 향상,불량률 감소,수율 향상

알루미나 보호 커버로 CVD 장치 히터 부품 교체 빈도 감소

제품 종류： 알루미나 커버

제안 효과： 공수 절감,비용 절감,생산성 향상

웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD

제안 효과： 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상,내마모성

1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상

휴대용 웨이퍼 반송 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 기능성 향상,휴대성

금속 오염 방지가 가능한 특수 처리 제품 제안

제품 종류： 기타

제안 효과： 내약품성 향상,생산성 향상(처리량 향상),공수 절감,긴 수명화,금속 오염 방지,파티클 대책

휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상,수율 향상

금속으로부터 도전성 세라믹으로의 웨이퍼 반송 핸드의 재질 변경에 의한 접촉 데미지의 저감

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 접촉 피해 억제,마모 방지,오염 방지