| 상품명 | LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식) |
|---|---|
| 분류 | 플로팅 스탠다드 핸드 (베르누이 방식) |
| 용도 | 웨이퍼 이송용(공기용) |
| 재료 | 高純度アルミナ |
| 특징 |
뒤틀린 웨이퍼를 운반 가능 얇은 웨이퍼 운반 가능 웨이퍼 유지를 가능하게 하는 4개의 외부 가이드 역조작 가능 |
| 크기 |
12인치: 외부 350×220mm, 두께 2.5mm 8인치: 외부 272×100mm, 두께 2.5mm |
이 제품의 특징
"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"의 특징
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・휘어진 웨이퍼를 운반 가능
・얇은 웨이퍼를 운반 가능
・외주 기준 이외의 비접촉
・역조작 가능
"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"의 형상
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그림 1은 LeviZac®의 외관을 보여줍니다.
4개의 분출 구멍과 가이드가 있습니다.
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그림 2는 LeviZac®의 단면을 보여줍니다.
3mm의 웨이퍼 둘레는 웨이퍼를 고정할 수 있습니다.
"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"의 사례·실적
"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"의 도면 다운로드
LeviZac 8인치
（레비작 8인치）
- 뒤틀린 웨이퍼
- 얇은 웨이퍼
- 부양 유형
- 베르누이 방정식
- 내열성
- 대기용
- 분출 구멍
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
LeviZac 12인치
（레비작 12인치）
- 뒤틀린 웨이퍼
- 얇은 웨이퍼
- 부양 유형
- 베르누이 방정식
- 내열성
- 대기용
- 분출 구멍
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"의 동영상
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LeviZac 8인치 수중 웨이퍼 고정
이것은 8인치 베르누이 손(LeviZac)이 웨이퍼를 물에 담고 있는 영상입니다. 웨이퍼는 4개의 스파우팅 구멍에서 물을 분출하여 고정됩니다. 웨이퍼는 약 3mm의 외주를 갖는 4개의 가이드에 의해 고정된다. 수중에서 사용할 수 있습니다. -
베르누이 핸드 (LeviZac) 12 인치 웨이퍼 전사 비디오
이것은 12인치 베르누이 핸드(LeviZac) 웨이퍼 전사 영상입니다. 웨이퍼는 4개의 분출 구멍에서 공기를 불어넣어 고정됩니다. 웨이퍼는 약 3mm의 외주를 갖는 4개의 가이드에 의해 고정된다. LeviZac은 회전하여 웨이퍼를 고정할 수 있습니다. 웨이퍼는 위에서 빨아들이면서 운반할 수 있습니다.
"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"에 대한 자주 묻는 질문
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가이드의 내열온도가 100°C이기 때문에 그 이상의 온도에서는 사용이 어렵습니다.
고온 환경에서의 사용을 위해 가이드 소재가 알루미나로 만들어진 형상을 제안합니다.
자세한 내용은 문의하시기 바랍니다. -
제작이 가능합니다. Y자형 LeviZac은 4인치, 5인치 및 6인치 웨이퍼용으로 제조할 수 있습니다.
4인치용 LeviZac은 5~8인치 웨이퍼를 수용할 수 있습니다.
I자형의 LeviZac도 준비되어 있으니 부담없이 상담해주십시오. -
수평 위치로 운반 할 수 있습니다. LeviZac®은 4개의 가이드가 있는 공작물을 고정합니다.
공작물의 윗면은 위에서 끌어당기고, 유지하고, 운반할 수 있습니다. -
유지할 수 있습니다. LeviZac은® 물이나 액체를 공기 경로로 흐르게 하고 스파우트홀을 통해 배출하여 웨이퍼를 고정할 수 있습니다.
자세한 내용은 이 동영상을 시청하세요.
