특수제작 제품 사례

6インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）

산업： 반도체,로봇·장치

재질： 고순도 알루미나

精密セラミックボール（炭化ケイ素SiC3N）

산업： 반도체,산업 기계,기타

재질： 고순도 SiC

高耐熱性4～8インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド（UniZac-air®）

산업： 반도체,로봇·장치,アニール工程,エピタキシャル工程,CVD工程,洗浄工程

재질： 고순도 SiC

UniZac-air® (ユニザックエア)　センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用）

산업： 반도체,로봇·장치,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程

재질： 고순도 알루미나

ケガキ線付き4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）

산업： 반도체,로봇·장치,광학 장비

재질： 고순도 알루미나

反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ（UniZac-Pair）

산업： 반도체,로봇·장치,산업 기계

재질： 고순도 알루미나

12インチウエハ搬送用 トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）

산업： 반도체,로봇·장치,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程

재질： 고순도 알루미나

Φ200×t 0.5 SiCダミーウエハ（反り量0.5 mm）【常圧焼結品/多結晶体】

산업： 반도체,로봇·장치,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程

재질： 고순도 SiC

500角吸着用 大型多孔質チャック（多孔質AZP60、本体アルミ）

산업： 반도체,광학 장비,화학·소재,영화,기타

재질： 다공성 세라믹(포러스 세라믹)

4～8インチ反りウエハ対応ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）

산업： 반도체,로봇·장치

재질： 고순도 알루미나

Φ330アルミナ空洞一体プレート

산업： 반도체,세라믹 소성 지그,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程

재질： 고순도 알루미나

UniZac-air® (ユニザックエア)　両面吸着ハンド（12インチ用）

산업： 반도체,로봇·장치

재질： 고순도 알루미나