기기 제조업체를 비롯한 다양한 산업 고객에게
제공해 온 세라믹 파트를 소개합니다.
8인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(UniZac-air®)
산업: 반도체
재질: 고순도 알루미나
12인치 웨이퍼 반송용 트레이식 핸드(UniZac-Obon®)
산업: 반도체
재질: 고순도 알루미나
8인치 웨이퍼 반송용 트레이식 핸드(UniZac-Obon®)
산업: 반도체
재질: 고순도 알루미나
정전기 확산 코팅 웨이퍼 반송 핸드
산업: 반도체
재질: 정전기 확산 알루미나,고순도 알루미나
4인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드
산업: 반도체
재질: 고순도 알루미나
SiC제 소성용 세터
산업: 세라믹 소성 지그
재질: SiC(탄화규소)
고순도 SiC제 플레이트(SiC3N)
산업: 기타
재질: 고순도 SiC
6인치 웨이퍼 흡착용 다공질 알루미나 척(본체 A5052)
산업: 반도체,산업 기계,영화
재질: 다공성 세라믹(포러스 세라믹)
다공질 SiC 척(본체 알루미나)
산업: 산업 기계,영화,대학·연구기관
재질: 고순도 알루미나,다공성 세라믹(포러스 세라믹)
SiC제 원통 부품
산업: 산업 기계,영화,대학·연구기관
재질: SiC(탄화규소)
도전성 세라믹제 돌출 핀(돌출 니들)
산업: 반도체
재질: 전도성 세라믹
초고순도 알루미나제 절연핀(알루미나 4N)
산업: 산업 기계,영화,대학·연구기관
재질: 초고순도 알루미나(4N)