기기 제조업체를 비롯한 다양한 산업 고객에게
제공해 온 세라믹 파트를 소개합니다.
ボンディング装置用セラミックステージ
산업: ボンディング工程
재질: 고순도 알루미나
UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)
산업: 반도체,로봇·장치
재질: 고순도 알루미나
ボンディング装置用 4インチ用ピンチャック
산업: 반도체,ボンディング工程
재질: SiC(탄화규소)
4~8インチウエハ吸着用 薄型1.2 mmロボット搬送ハンド(UniZac-air®)
산업: 반도체,로봇·장치
재질: 고순도 알루미나
ボンディング装置用 Φ300セラミックスプレート
산업: ボンディング工程
재질: 고순도 알루미나
検査用 セラミックス製 精密定盤(400角)
산업: 検査工程
재질: 고순도 알루미나
検査用 セラミックス製 精密定盤(650角)
산업: 検査工程
재질: 고순도 알루미나
精密XYステージ用 セラミックス長尺部品
산업: ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程
재질: 고순도 알루미나
4~6インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド(LeviZac®)静電気拡散アルミナコート
산업: 반도체,로봇·장치
재질: 고순도 알루미나
4~5インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド(LeviZac®)静電気拡散アルミナコート
산업: 반도체,로봇·장치
재질: 고순도 알루미나
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド(PeriZac®)高温仕様
산업: 반도체,로봇·장치,광학 장비
재질: 고순도 알루미나
4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)
산업: 반도체,로봇·장치,광학 장비
재질: 고순도 알루미나