搬送ハンド・多孔質チャックなどのファインセラミックス製品なら
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図面ダウンロード
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(レビザック12インチ)
ウエハ外周3mm以内での保持が可能
(レビザック8インチ)
(アイガタレビザック4インチ)
8個のガイドでウエハの保持が可能
(ウスガタレビザック4インチ)
狭いカセット幅への搬送が可能
(ペリザック12インチ)
(ペリザック8インチ)
(ユニザックエア12インチ)
有機系のアウトガス対策にも有効
(ユニザックエア8インチ)
(ユニザックエア8インチ(アツミ1mmタイプ))
厚さ1mmの空洞一体型搬送ハンド
(ユニザックオボン12インチ)
軽量化・薄型化を実現
(ユニザックオボン8インチ)
(ユニザックオボン4インチ)
(ユニザックペア12インチ)
薄反りウエハの保持が可能
(ユニザックペア8インチ)
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セラミックスデザインラボに寄せられるよくある質問
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