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以下よりご希望の図面をダウンロードいただけます。

LeviZac 12インチ

（レビザック12インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能

2D 図面 3D 図面
LeviZac 8インチ

（レビザック8インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能

2D 図面 3D 図面
I型LeviZac 4インチ

（アイガタレビザック4インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
8個のガイドでウエハの保持が可能

2D 図面 3D 図面
薄型LeviZac 4インチ

（ウスガタレビザック4インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能

2D 図面 3D 図面
薄型LeviZac 4インチ

（ウスガタレビザック4インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能

2D 図面 3D 図面
薄型LeviZac 4インチ

（ウスガタレビザック4インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
狭いカセット幅への搬送が可能

2D 図面 3D 図面
PeriZac 12インチ

（ペリザック12インチ）
- パーティクル
  抑制
- 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能

2D 図面 3D 図面
PeriZac 8インチ

（ペリザック8インチ）
- パーティクル
  抑制
- 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能

2D 図面 3D 図面
UniZac-air 12インチ

（ユニザックエア12インチ）
- 接着剤
  不使用
- 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効

2D 図面 3D 図面
UniZac-air 8インチ

（ユニザックエア8インチ）
- 接着剤
  不使用
- 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効

2D 図面 3D 図面
UniZac-air 8インチ(厚み1mmタイプ)

（ユニザックエア8インチ(アツミ1mmタイプ)）
- 接着剤
  不使用
- 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
厚さ1mmの空洞一体型搬送ハンド

2D 図面 3D 図面
UniZac-air8″(ASiC)(厚み1.9mmタイプ)(ロゴ入り)

（ユニザックエア8"）
- 接着剤
  不使用
- 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
厚さ1.9mmのSiCの空洞一体型搬送ハンド

2D 図面 3D 図面
UniZac-air8″(ASiC)(厚み1.9mmタイプ)(取付穴あり)

（ユニザックエア8"）
- 接着剤
  不使用
- 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
厚さ1.9mmのSiCの空洞一体型搬送ハンド

2D 図面 3D 図面
UniZac-Obon 12インチ

（ユニザックオボン12インチ）
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現

2D 図面 3D 図面
UniZac-Obon 8インチ

（ユニザックオボン8インチ）
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現

2D 図面 3D 図面
UniZac-Obon 4インチ

（ユニザックオボン4インチ）
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現

2D 図面 3D 図面
UniZac-Pair 12インチ

（ユニザックペア12インチ）
- 反りウエハ
- 薄ウエハ
- 変形防止
- 吸着痕抑制
- 吸着式
- 多孔質
  埋め込み式
- 大気用
- 通気性
- 応答性
薄反りウエハの保持が可能

2D 図面 3D 図面
UniZac-Pair 8インチ

（ユニザックペア8インチ）
- 反りウエハ
- 薄ウエハ
- 変形防止
- 吸着痕抑制
- 吸着式
- 多孔質
  埋め込み式
- 大気用
- 通気性
- 応答性
薄反りウエハの保持が可能

2D 図面 3D 図面
UniZac-Pair 8インチ(センサー溝付き)

（ユニザックペア8インチセンサー溝付き）
- 反りウエハ
- 薄ウエハ
- 変形防止
- 吸着痕抑制
- 吸着式
- 多孔質
  埋め込み式
- 大気用
- 通気性
- 応答性
センサー溝付き

2D 図面 3D 図面

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