UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド

產品名稱	UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド
分類	吸着ハンド
用法	ウエハ搬送用(大気用)
材料	高純度アルミナ 炭化ケイ素
特徵	耐久性向上 高耐熱性 接着剤不使用
尺寸	12インチ：外形330×104 mm、厚み3.5 mm 8インチ ：外形158×74 mm、厚み1.9 mm

"UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド"下載圖

LeviZac 8寸

（利維薩克 8寸）

• 免膠
• 提高耐久性
• 吸附式
• 耐熱性
• 不含金屬
• 對於大氣
• 稀釋劑
• 高強度
• 一體式腔體

Wafer 可固定在外周 3mm 以內

LeviZac 12寸

（利維薩克 12 寸）

• 免膠
• 提高耐久性
• 吸附式
• 耐熱性
• 不含金屬
• 對於大氣
• 稀釋劑
• 高強度
• 一體式腔體

Wafer 可固定在外周 3mm 以內

PeriZac 8寸

（佩里扎克8寸）

• 免膠
• 提高耐久性
• 吸附式
• 耐熱性
• 不含金屬
• 對於大氣
• 稀釋劑
• 高強度
• 一體式腔體

Wafer 可固定在外周 3mm 以內

PeriZac 12寸

（佩里扎克 12寸）

• 免膠
• 提高耐久性
• 吸附式
• 耐熱性
• 不含金屬
• 對於大氣
• 稀釋劑
• 高強度
• 一體式腔體

Wafer 可固定在外周 3mm 以內

UniZac-air 8寸

（尤尼扎克空氣 8寸）

• 免膠
• 提高耐久性
• 吸附式
• 耐熱性
• 不含金屬
• 對於大氣
• 稀釋劑
• 高強度
• 一體式腔體

對有機除氣也有效

UniZac-air 12寸

（尤尼扎克空氣 12 寸）

• 免膠
• 提高耐久性
• 吸附式
• 耐熱性
• 不含金屬
• 對於大氣
• 稀釋劑
• 高強度
• 一體式腔體

對有機除氣也有效

UniZac-Obon 8寸

（UniZac-托盤 8寸）

• 免膠
• 提高耐久性
• 吸附式
• 耐熱性
• 不含金屬
• 對於大氣
• 稀釋劑
• 高強度
• 一體式腔體

實現減重瘦身

圖紙下載

"UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド"視頻

• 吸着ハンド（UniZac-air®）12インチの搬送動画

  12インチ 吸着ハンド（UniZac-air®）のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。

• 吸引ポートの位置の変更はできますか。

  位置の変更はできます。センターライン上の表面あるいは裏面に吸引ポート穴を開けることが可能です。貫通穴の対応も可能です。
  

• 12インチ、8インチ以外のウエハサイズに対応したUniZac-air® は、製作が可能ですか。

  製作は可能です。Y型の形状のUniZac-air® では、4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
  詳細はお問い合わせください。
  

• UniZac-air® は、反転搬送ができますか。

  反転搬送ができます。12インチのUniZac-air® は、3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。8インチのUniZac-air®は、2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
  

• 取付穴の位置の変更はできますか。

  できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。
  

• アルミナ以外の材質のUniZac-airはありますか。

  SiC空洞一体ハンドUniZac-airがあります。詳細はこちら→

• UniZac-airのデモ機はありますか。

  あります。アルミナでは、12インチと8インチ用があります。SiCは8インチ用があります。SiCの12インチは現在製作中です。