Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상,수율 향상
휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 휨 웨이퍼 대책,생산성 향상(처리량 향상)
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,정전기 대책,불량률 감소