반도체용 반송 핸드・암

반도체 제조·검사 프로세스에 있어서의 웨이퍼 반송의 고민을 해결하겠습니다!

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이와 같은 문제가 있습니까?

반도체용 반송 핸드・암|세라믹스 디자인 라보
  • 고온 환경에서도 사용할 수 있는 반송 핸드를 찾고 있다・・・

  • 반송 핸드에 센서를 설치하고 싶습니다.

  • 금속의 반송 핸드로부터, 경량화할 수 있는 세라믹스의 핸드로 하고 싶다···

저희가 도와드리겠습니다!

알루미나, SiC 뿐만 아니라 다공성 세라믹 및 특수 세라믹 개발까지 통합 지원 내열성과 전기전도도가 뛰어난!

웨이퍼 이송과 같은 다양한 산업, 용도 및 형상의 생산 실적이 입증되었습니다.엔드 이펙터/핸들링 암, 진공 척, 대형 보드 및 파이어링 세터!

세라믹 재료의 특성과 반도체 및 전자 산업 고유의 문제점을 잘 알고 있기 때문에 가능한 고객에게 VA/VE에 대한 제안을 제공합니다!

급하신 분들은 전화주세요!

TEL+81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

이 사이트 "도자기디자인연구소"는 파인세라믹사업부에서 운영하고 있습니다.
ASUZAC Corporation은 1946년에 설립된 그룹으로
800 명 이상으로 구성됩니다.

당사의 "반도체용 반송 핸드・암"의 특징

  • 반도체용 반송 핸드・암|세라믹스 디자인 라보

    반도체 제조·검사 프로세스에 있어서의 웨이퍼 반송의 고민을 해결하겠습니다!

    당사의 세라믹제 웨이퍼 반송 핸드는, 세라믹스 디자인 랩 독자 기술인, 접착제 미사용의 공동 일체 기술에 의해, 박형화나 내구성이 향상하고 있습니다.

    ・고온 환경에 강하고, 금속 오염이나 발진의 위험이 적다
    ・유기계의 아웃가스 대책에 유리
    라고 하는 메리트가 있어, 최근에는 금속·수지로부터 세라믹스에의 재료 변경의 문의도 많이 받고 있습니다.

    과거 실적은 다음과 같습니다.
    ・1개의 핸드로, 표면・이면에서 다른 흡착 방법의 반송 핸드 제작
    ・500□, 600□사이즈의 PLP 기판 반송용 핸드 제작
    ・웨이퍼 반송 핸드의 특주 제작으로부터, 평가 시험까지 대응
    ・반송 핸드에 센서 설치

"반도체용 반송 핸드・암"의 사례 및 성과

저희가 도와드리겠습니다!

알루미나, SiC 뿐만 아니라 다공성 세라믹 및 특수 세라믹 개발까지 통합 지원 내열성과 전기전도도가 뛰어난!

웨이퍼 이송과 같은 다양한 산업, 용도 및 형상의 생산 실적이 입증되었습니다.엔드 이펙터/핸들링 암, 진공 척, 대형 보드 및 파이어링 세터!

세라믹 재료의 특성과 반도체 및 전자 산업 고유의 문제점을 잘 알고 있기 때문에 가능한 고객에게 VA/VE에 대한 제안을 제공합니다!

급하신 분들은 전화주세요!

TEL+81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

"반도체용 반송 핸드・암"에 대한 자주 묻는 질문

  • 오리지널 핸드의 데모기의 대출은 가능합니다. 흡착 핸드용 이젝터를 준비하고 있습니다. 압축 에어가 있는 환경이라면, 곧바로 사용하는 것이 가능합니다. 장치 설치에 리스트 블록 등 필요한 경우는 당사에서 작성하는 것도 가능하므로 부담없이 상담해 주십시오. 대여 라인업이 있으므로 자세한 내용은 문의하십시오.

  • 가능합니다. 일반적으로 홈에 센서를 설치하고 있습니다. 또, 특수한 예로서는, 반송 핸드의 측면에 기어 있게 하는 센서나, 공동 내부에 센서를 통과시키는 타입도 있습니다. 센서를 설치하고 싶은, 센서 첨부의 반송 핸드를 준비하고 싶은 등의 요구가 있으면, 부담없이 문의해 주세요.

  • 가능합니다. 개선 사례로서, 핸드에 금속제의 암을 달아, 웨이퍼를 반송이나 반출에 사용해 주시고 있는 손님도 계십니다.


    >>자세한 것은 이쪽

  • 웨이퍼 두께나 휨량에 따라 바뀌지만, 당사의 베르누이 핸드나 다공질 핸드가 휨 웨이퍼 대책으로서 라인 업하고 있습니다. 웨이퍼를 맡겨 당사의 로봇 테스트 센터에서의 반송 테스트도 가능해지므로, 어려움이 있으시면 우선 문의해 주십시오.

  • 중량 해석은 가능합니다. 3D CAD 화면상에서 경계 조건이나 물성치, 해석 조건을 설정하고 해석을 실시합니다. 응력 분포나 변위 분포의 해석값을 얻을 수 있으므로 임의 형상의 부품에 가해지는 응력이나 변형을 시뮬레이션할 수 있습니다. 예를 들어, 1kg의 판을 반송하고 싶은 경우, 손에 얼마나 응력이 가해지는지 해석에 의해 시뮬레이션할 수 있습니다. 반송하는 워크에 의해, 최적의 소재나 형상을 제안하겠습니다. 자세한 내용은 문의하시기 바랍니다.

  • 반도체 제조 장치·액정 제조 장치의 전 공정·후 공정 전반에 실적이 있습니다. 특히 반송 핸드에 대해서는 폭넓게 사용 받고 있습니다. 그 밖에도, 핀등의 소품 ​​부품으로부터 트레이나 4 m사이즈의 대형 파트도 실적이 있습니다.

세라믹 디자인 실험실
선택되는 4가지 이유

  • 세라믹의 재료 개발부터 설계·제작까지 일관 대응

    세라믹의 재료 개발에서
    설계·제작까지 일관 대응

    당사는 알루미나, 탄화규소(SiC), 지르코니아, 다공질 세라믹스 등 다양한 파인 세라믹스 제품의 제조 실적이 있습니다. 또, 파인 세라믹스 재료의 종류·특성에 정통하고 있고, 또한 반도체·전자 부품 등에서 사용되는 제품의 사용 환경·용도도 숙지하고 있기 때문에, 최적인 재료 제안이 가능합니다. 원료의 조합·조립, 및 재료의 성형을 실시하는 설비·장치를 내제화하고 있는 당사는, 단열성 세라믹스, 도전성 세라믹스, 저반사의 블랙 알루미나, 고순도 세라믹스 등의 특수 재료 개발에도 임해 따라서 고객의 문제 해결에 기여할 수 있습니다. 원료의 조정으로부터, 형상 설계 및 설계 제안, 그린 가공·소성, 소성 후의 머시닝 가공·NC 선반 가공·연삭 가공·연마, 그리고 마무리에 대해서는 표면 처리·조립, 납품 전의 검사·평가까지 모두를 원스 상단에서 대응하고 있습니다. 이 “일관 제조 체제”는 당사의 우수한 기술자·품질 관리 부문과 고성능의 설비군에 의해 지원되고 있습니다.
  • 국내 디바이스 메이커를 위한 풍부한 납품 실적

    반도체 파운드리, 전자 디바이스 제조업체
    장비 제조업체를 위한 풍부한 납품 실적

    당사는 수년 동안 국내외 반도체 파운드리, 전자 디바이스 제조업체 및 장비 제조업체에 세라믹 제품을 공급해 왔습니다. 실리콘 웨이퍼·필름 등 얇은 워크의 반송 핸드나 흡착 척을 비롯하여, 웨이퍼 트레이, 프린트 기판, 진공 챔버용의 실드 부품 등 다양한 형상·용도·재질의 세라믹스 제품의 설계·제작 실적이 있습니다.
  • 40년 이상의 역사에 뒷받침된 VA·VE 제안의 노하우

    40년 이상의 역사에 뒷받침된
    VA · VE 제안의 노하우

    반도체·전자 부품의 제조 프로세스·반송 프로세스에서는, 파티클의 발생, 오염(오염)에 의한 수율 저하, 위치 어긋남에 의한 웨이퍼 표면의 손상, 아웃 가스(가스 방출) 등, 업계·제품 특유의 트러블이 있습니다.
    당사에서는 이러한 문제나 원인의 조사 검토, 또한 고객의 곤란을 해결하기 위한 VA・VE 기술 제안을 적극적으로 실시하고 있습니다. 코스트 다운이나 리드 타임 단축, 부품 교환의 공수 삭감, 반송 핸드의 기능성 향상 등 고객의 요구에 부응합니다.
  • 1점물의 시작부터 양산까지 수탁

    1점물의 시작부터
    양산까지 수탁

    당사는, 소량 다품종 생산을 자랑하고 있어, 단품·소롯트의 프로토타입으로부터 100개 이상의 롯트 양산까지 유연한 대응이 가능합니다. 시작 시에는 고객의 요구에 따라 제품 용도와 사용 환경을 고려한 재질 제안이나 설계 제안을 실시합니다. 코스트나 리드 타임, 정밀도의 편차 등 양산성을 평가한 후 양산으로 이행하기 때문에, 납품 후·운용 개시 후의 수정·재작성을 회피할 수 있습니다.

운영회사 정보

회 사 명 아스작 주식회사
사업부명 미세 세라믹 사업부
사업부 설립 1981년 10월
위치 본사 〒〒382-8508 나가노현 가미타카이군 다카야마무라 대자 나카야마 981
공장 다카야마 공장
영업소 본사・도쿄・오사카・큐슈
TEL +81-26-248-1626
FAX +81-26-251-2160
메일 fcerainf@asuzac.co.jp
사업내용 세라믹의 개발·제조·가공·판매

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