手動でウエハを搬送や搬出したいです。
可能です。
改善事例として、ハンドに金属製のアームを取り付けて、ウエハを搬送や搬出にお使い頂いているお客様もいらっしゃいます。
ウェハ厚みや反り量によって変わりますが、当社のベルヌーイハンドや多孔質ハンドが反りウェハ対策としてラインナップしております。ウェハをお預かりして当社のロボットテストセンターでの搬送テストも可能となりますので、お困りごとがありましたらまずはお問い合わせください。
多孔質チャックで、紙や和紙の吸着は難しいです。表面に凹凸がある素材ですとそこからリークしてしまい、吸着することが困難となります。例えば吸気している状態でワークを多孔質チャックに押し付けたり、吸着対象の厚みや表面状態によっては吸着可能なこともございますので、デモ機をお試しください。
波型やV型のセッターをご提案させていただきます。V型のセッターの例では、外形140 mm×100 mm、厚み8 mm、V字角度112.6°、ピッチ120 mm(P12×10)での製作が可能です。波型やV型のセッターの上にワークを乗せ、焼成することで、セッターとワークの反応を最小限に抑えることが可能です。
ダミーウェハとしては、アルミナやアルシーマ（当社オリジナル素材）で製作実績が御座います。
アルシーマは比重が2.41g/cm^3でシリコンウェハの比重と近いため扱いやすい素材となっております。
それぞれお客様のご利用に合わせて各インチ毎に製作可能で、厚みも0.3mmや0.7mm等、必要なサイズを製作いたします。
