技術コラム

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  2024.07.03 ウエハ搬送ハンド

  試作品UniZac-Obon®の軽量化品のご紹介

  試作品のオリジナルハンドUniZac-Obon®について、内部に空洞部を複数設けることで、約10 %の軽量化に成功しまし...

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  2024.05.22 ウエハ搬送ハンド

  反りウエハ対応の空洞一体型搬送ハンド「UniZac-air®」の技術コラム

  ウエハ保持部に段差を設けたことで、反りウエハを吸着させやすくした搬送ハンドです。詳細は以下をご覧ください。  ...

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  2024.02.15 ウエハ搬送ハンド

  厚さ1.2 mmの空洞一体型搬送ハンド「UniZac-air®」の技術コラム

  反ったウエハを搬送する際、カセットに接触し、ウエハが破損したことはありませんか。当社の UniZac-air®（1.2 ...

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  2023.11.01 ウエハ搬送ハンド

  搬送ハンドの困りごとを解決～搬送ハンドの選定～

  どのようなウエハ搬送ハンドを選定してよいか、お困りではありませんか。 この技術コラムでは、当社オリジナルの搬送ハンドの選...

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  2023.04.14 ウエハ搬送ハンド

  【従来品より40％軽量！】超軽量搬送ハンドのご紹介

  セラミックスデザインラボでは、この度 独自の技術を用いて従来のアルミナ製と比較して、約40％の軽量化を実現した超軽量搬送...

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  2023.03.14 ウエハ搬送ハンド

  【従来品より20％軽量】PLP搬送向け 軽量アルミナハンド AiR-PLP

  セラミックスデザインラボでは、このたび、大型セラミックスの製造技術を高度化、PLP基板搬送向けに□500サイズ、□600...

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  2023.02.28 ウエハ搬送ハンド

  【効果検証】静電拡散膜コーティングによるウエハへの糸くず付着軽減

  【効果検証】静電拡散膜コーティングによるウエハへの糸くず付着軽減 ウエハ搬送ハンドにおいて、表面へのゴミの付着は看過でき...

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  2023.02.14 ウエハ搬送ハンド

  ウエハ搬送セラミックハンド 設計改善・VAVE事例のご紹介

  今回は、ウエハ搬送セラミックハンドの性能向上につながる改善事例を３つご紹介します。 ①　品質不良リスクを低減！ウエハとハ...

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