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誘導結合プラズマ質量分析装置（ICP-MS）

2022.11.18
半導体業界の求める微量元素の分析・評価を行う装置です。極微量のコンタミを回避するためクリーンルームで徹底的に管理しており、洗浄品質や製品使用後のトレースメタル分析など数百ppm～サブppbレベルの高度な分析が可能です。

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