今回は、ウエハ搬送セラミックハンドの性能向上につながる改善事例を３つご紹介します。
① 品質不良リスクを低減！ウエハとハンドの接触面積を最小化した事例
② 反りウエハも搬送可能！ベルヌーイハンドのウエハ吸着力アップ事例
③ 穴位置を調整！ベルヌーイハンドのご提案事例
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ウエハ搬送セラミックハンド
設計改善・VAVE事例のご紹介
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いつもお世話になり、ありがとうございます。
アスザックの中澤です。
今回は、設備設計、生産技術の方へ情報をご提供させて頂きたいと思います。
また､試作時に役立つ情報もお伝えしますので、
ぜひ最後までご覧ください。
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アスザックのファインセラミックス事業部は、国内トップの搬送用セラミックハンドのメーカーとして、20年以上ユーザー様にご愛顧頂いております。
ハンドは、基本的にユーザー様の工場、ワークに合わせて、独自設計を行うことが常であり、ウエハのサイズや搬送速度、位置決め精度等、工場ごとに異なる要件に合わせて設計製作を行います。
「現在使用しているハンドより、良くしたい」
「搬送スピードと精度を上げたい」
「ウエハに傷がつきやすいので、不良低減を図りたい」
などご相談を頂くことも多く、アスザックの技術営業チームでは、
日々お客様のハンドについて、改善提案を行っております。
今回は、ハンドの性能向上につながる改善事例を３つご紹介します。
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① 品質不良リスクを低減！
ウエハとハンドの接触面積を最小化した事例
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ウエハ外周ハンドでのご提案事例です。
ウエハとハンドの接触面は、小さければ小さいほど、傷の防止につながるため、
安定した保持力と接触面積の最適なバランスを模索することが重要です。
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本事例では、ウエハ中央部の幅を広く取り、ハンドの腕部分を細く設計変更することで、ウエハとの接触面を小さくしています。
実際に設計変更したハンドをラインに導入する際には、
アスザック内で新設計ハンドによる、ウエハの搬送模擬テストを行い、
トラブルが生じないことを確かめてから納品させて頂きました。
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② 反りウエハも搬送可能！
ベルヌーイハンドのウエハ吸着力アップ事例
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ベルヌーイハンドの吸着力を向上させた事例です。
ベルヌーイハンドの吸着力は、噴き出し穴の個数や配置によって決まります。
噴き出し穴の仕様を変更・調整することで、一般的には搬送が難しい、反りがあるウエハ等も、ベルヌーイハンドで安定した搬送が可能となります。
こういった仕様変更・調整は、実際に試作品を用いながら、検証を進めていくことが重要ですが、アスザックでは、1品から特注ハンドを製作することができるため、試作装置等を用いてテストも可能です。
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上記は、12インチウエハ対応のY型ハンドですが、 噴き出し穴口数が異なります。
お客様の装置や工程に合わせて最適なカスタマイズ製作が可能ですので、お気軽にご相談ください。
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アスザックでは、セラミックハンドのトップメーカーとして、ハンドの豊富な選択肢をご用意しております。
弊社商品「LeviZac」は、デバイスメーカー様 現場エンジニアの方の課題を元に開発したベルヌーイハンドで、最大の特長は「穴位置調整が可能」なことです。
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噴き出し穴を別部品として製作しており、予め設定された任意の位置に、
部品を組み込むことで、噴き出し穴が機能します。
また、 噴き出し穴部品は、3方向噴き出し、4方向噴き出しから選択可能です。
（基本タイプは4、6、8箇所に 噴き出し穴を設定可能です。
穴を塞ぐ場合はメクラ板を取り付けます。）
実際の設備で、ハンドの稼働状況を見ながら、調整が可能なため、リードタイムの迅速化、試作コスト低減に貢献します。
お客様のご要望に合わせた特注製作のほか、基本タイプのハンドのレンタルも可能ですのでお気軽にご相談ください。
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アスザックでは、ウエハ搬送工程の検証設備を社内に備えており、特注搬送ハンドの試験が可能です。搬送ハンドの位置精度や繰り返し精度、耐久性等を確かめることができ、ユーザー様の特注搬送ハンド製作、調達をサポートいたします。
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