搬送ハンド・多孔質チャックなどのファインセラミックス製品なら
図面ダウンロード
ウエハ搬送ハンドの2D図面・3D図面ファイルをdwg形式やSTEP形式で
ダウンロードできます（複数選択可能）。ぜひお役立てください。
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LeviZac 12インチ
（レビザック12インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
-
LeviZac 8インチ
（レビザック8インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
-
I型LeviZac 4インチ
（アイガタレビザック4インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
8個のガイドでウエハの保持が可能
-
薄型LeviZac 4インチ
（ウスガタレビザック4インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
-
薄型LeviZac 4インチ
（ウスガタレビザック4インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
-
薄型LeviZac 4インチ
（ウスガタレビザック4インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
狭いカセット幅への搬送が可能
-
PeriZac 12インチ
（ペリザック12インチ）
-
パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
-
パーティクル
-
PeriZac 8インチ
（ペリザック8インチ）
-
パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
-
パーティクル
-
UniZac-air 12インチ
（ユニザックエア12インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効
-
接着剤
-
UniZac-air 8インチ
（ユニザックエア8インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効
-
接着剤
-
UniZac-air 8インチ(厚み1mmタイプ)
（ユニザックエア8インチ(アツミ1mmタイプ)）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
厚さ1mmの空洞一体型搬送ハンド
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接着剤
-
UniZac-air8″(ASiC)(厚み1.9mmタイプ)(ロゴ入り)
（ユニザックエア8"）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
厚さ1.9mmのSiCの空洞一体型搬送ハンド
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接着剤
-
UniZac-air8″(ASiC)(厚み1.9mmタイプ)(取付穴あり)
（ユニザックエア8"）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
厚さ1.9mmのSiCの空洞一体型搬送ハンド
-
接着剤
-
UniZac-Obon 12インチ
（ユニザックオボン12インチ）
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現
-
UniZac-Obon 8インチ
（ユニザックオボン8インチ）
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現
-
UniZac-Obon 4インチ
（ユニザックオボン4インチ）
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現
-
UniZac-Pair 12インチ
（ユニザックペア12インチ）
- 反りウエハ
- 薄ウエハ
- 変形防止
- 吸着痕抑制
- 吸着式
-
多孔質
埋め込み式 - 大気用
- 通気性
- 応答性
薄反りウエハの保持が可能
-
UniZac-Pair 8インチ
（ユニザックペア8インチ）
- 反りウエハ
- 薄ウエハ
- 変形防止
- 吸着痕抑制
- 吸着式
-
多孔質
埋め込み式 - 大気用
- 通気性
- 応答性
薄反りウエハの保持が可能
-
UniZac-Pair 8インチ(センサー溝付き)
（ユニザックペア8インチセンサー溝付き）
- 反りウエハ
- 薄ウエハ
- 変形防止
- 吸着痕抑制
- 吸着式
-
多孔質
埋め込み式 - 大気用
- 通気性
- 応答性
センサー溝付き
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