試作品UniZac-Obon®の軽量化品のご紹介
試作品のオリジナルハンドUniZac-Obon®について、内部に空洞部を複数設けることで、約10 %の軽量化に ... ...
介紹我們為包括設備製造商在內的各個行業的客戶提供的陶瓷零件。
成本
粒子
電導率
吸痕
靜電
靜電對策的PAD提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 改進的功能靜電對策表面電阻值控制
晶圓搬運手的靜電和放氣對策
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高耐熱性靜電對策表面電阻值控制抑制放氣
塗層變化降低靜電擴散手不良率
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 污染措施靜電對策防電火花減少不良率
大型偏光フィルムの吸着
翹曲的晶圓
靜電對策的PAD提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓翹曲對策提高生產率(提高吞吐量)
生產率(吞吐量)
晶圓划痕
產品更換工時
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率
按產品類別: 氧化鋁蓋
按提案成果: 減少工時降低成本提高生產力
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量)改進的功能
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高耐磨性提高生產率(提高吞吐量)減少工時降低成本
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別: 多孔卡盤
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量)減少工時降低成本改進的功能
晶圓貼合
透氣性
錯位
成品率
接觸損壞
產品壽命
粉塵產生
耐熱
磨耗
功能性
薄ウェハ
提高耐磨性
改進的功能
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
便攜式晶圓搬運手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 改進的功能可移植性
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
對工件的影響小且透氣性好的多孔定位器的提案
按產品類別: 燒結用陶瓷墊板
按提案成果: 抑制接觸損傷改進的功能減少不良率提高產量
高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 改進的功能靜電對策表面電阻值控制
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量)改進的功能
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別: 多孔卡盤
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量)減少工時降低成本改進的功能
晶圓劃傷預防
靜電對策
提高耐熱性
晶圓翹曲對策
靜電對策的PAD提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓翹曲對策提高生產率(提高吞吐量)
翹曲/薄晶圓移送手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策吸附疤痕抑制提高產量粒子測量
提高生產力
防止錯位
減少不良率
提高生產率(提高吞吐量)
可防止金屬污染的特殊處理產品提案
按產品類別: 其他
按提案成果: 提高耐化學性提高生產率(提高吞吐量)減少工時長壽金屬污染對策粒子測量
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量)改進的功能
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高耐磨性提高生產率(提高吞吐量)減少工時降低成本
可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓翹曲對策提高生產率(提高吞吐量)
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別: 多孔卡盤
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量)減少工時降低成本改進的功能
大型偏光フィルムの吸着が可能な500角の大型多孔質チャックのご提案
按產品類別: 多孔卡盤
按提案成果: 應變抑制提高生產率(提高吞吐量)吸附疤痕抑制ワークの傷防止
抑制接觸損傷
提高產量
減少工時
可防止金屬污染的特殊處理產品提案
按產品類別: 其他
按提案成果: 提高耐化學性提高生產率(提高吞吐量)減少工時長壽金屬污染對策粒子測量
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率
按產品類別: 氧化鋁蓋
按提案成果: 減少工時降低成本提高生產力
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高耐磨性提高生產率(提高吞吐量)減少工時降低成本
吸手腔一體化方案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高耐熱性減少工時長壽降低成本抑制放氣
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別: 多孔卡盤
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量)減少工時降低成本改進的功能
表面電阻值控制
粒子測量
吸附疤痕抑制
抑制放氣
應變抑制
長壽
ワークの傷防止
污染措施
降低成本
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率
按產品類別: 氧化鋁蓋
按提案成果: 減少工時降低成本提高生產力
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高耐磨性提高生產率(提高吞吐量)減少工時降低成本
陶瓷成膜提案
按產品類別: 其他
按提案成果: 應變抑制降低成本減少不良率
吸手腔一體化方案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高耐熱性減少工時長壽降低成本抑制放氣
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別: 多孔卡盤
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量)減少工時降低成本改進的功能
晶圓傳送手
靜電對策的PAD提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
通過將晶圓傳送手的材料從金屬更改為導電陶瓷來減少接觸損壞
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 抑制接觸損傷磨損保護污染措施
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
便攜式晶圓搬運手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 改進的功能可移植性
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 改進的功能靜電對策表面電阻值控制
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量)改進的功能
多孔卡盤
PAD
我們介紹我們提供給各行業客戶的陶瓷零件,包括設備製造商。
精密セラミックボール(炭化ケイ素SiC3N)
高耐熱性4~8インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド(UniZac-air®)
UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)
ケガキ線付き4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)
反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)
12インチウエハ搬送用 トレイ式軽量化ハンド(UniZac-Obon®)
Φ200×t 0.5 SiCダミーウエハ(反り量0.5 mm)【常圧焼結品/多結晶体】
500角吸着用 大型多孔質チャック(多孔質AZP60、本体アルミ)
4~8インチ反りウエハ対応ロボット搬送ハンド(UniZac-air®)
Φ330アルミナ空洞一体プレート
試作品のオリジナルハンドUniZac-Obon®について、内部に空洞部を複数設けることで、約10 %の軽量化に ... ...
ウエハ保持部に段差を設けたことで、反りウエハを吸着させやすくした搬送ハンドです。詳細は以下をご覧ください。 & ... ...
反ったウエハを搬送する際、カセットに接触し、ウエハが破損したことはありませんか。当社の UniZac-air® ... ...