| 產品名稱 | LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method) |
|---|---|
| 分類 | 浮動標準指標（伯努利法） |
| 用法 | 用於晶圓輸送（用於空氣） |
| 材料 | 高純度アルミナ |
| 特徵 |
可以運輸翹曲的晶圓 能夠運輸薄晶圓 四個外部導軌可實現晶圓固定 可反向操作 |
| 尺寸 |
12 英寸：外部 350×220 毫米，厚度 2.5 毫米 8 英寸：外部 272×100 毫米，厚度 2.5 毫米 |
本產品的特點
"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"的特點
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・可以運輸翹曲的晶圓
・可運輸薄晶圓
・除了外圓周上的指南外，非接觸式
・可反向操作
"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"的形狀
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圖 1 顯示了 LeviZac® 的外觀形狀
有四個井噴孔和一個導軌 -
圖2顯示了LeviZac®的橫截面
晶圓周長為3mm即可容納晶圓
"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"實例及成果
"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"下載圖
LeviZac 8寸
（利維薩克 8寸）
- 翹曲的晶圓
- 薄晶圓
- 浮選型
- 伯努利方程
- 耐熱性
- 對於大氣
- 噴水孔
- 指導
- 一體式腔體
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
LeviZac 12寸
（利維薩克 12 寸）
- 翹曲的晶圓
- 薄晶圓
- 浮選型
- 伯努利方程
- 耐熱性
- 對於大氣
- 噴水孔
- 指導
- 一體式腔體
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"視頻
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伯努利手 （LeviZac） 8 吋晶圓在水中保存視頻
這是一段8英寸伯努利手（LeviZac）在水中拿著晶圓的視頻。 晶圓通過從四個噴口孔噴出水來固定。 晶圓由四個外周約為 3 mm 的導軌固定。 它可以在水下使用。 -
伯努利手 （列維紮克） 12 吋晶圓傳輸視頻
這是一個 12 英寸伯努利手 （LeviZac） 晶圓傳輸視頻。 晶圓通過從四個吹出孔吹出空氣來固定。 晶圓由四個外周約為 3 mm 的導軌固定。 LeviZac可以旋轉以固定晶圓。 晶圓可以在從上方吸吮的同時運輸。
"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"常見問題解答
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由於導軌的耐熱溫度為100°C，因此很難在高於該溫度的溫度下使用。
為了在高溫環境中使用，我們將提出一種由氧化鋁製成的導向材料的形狀。
詳情請聯絡我們。 -
製造是可能的。 Y形LeviZac可以製造用於4英寸，5英寸和6英寸晶圓。
4英寸的LeviZac可以容納5~8英寸的晶圓。
I形的LeviZac也可用，所以請隨時與我們聯繫。 -
它可以在水準位置運輸。 LeviZac® 用四個導軌固定工件。
工件的上表面可以從上方吸引、固定和運輸。 -
可以保留。 LeviZac® 可以通過將水或液體流入氣道並通過噴口孔噴射來容納晶圓。
觀看此視頻以瞭解更多資訊。
