| 產品名稱 | 12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（PeriZac®）高温仕様 |
|---|---|
| 行業 |
半導體 機器人/設備 光學設備 |
| 產品類別 | 晶圓搬運手（機械手吸盤手） |
| 材料 | 高純氧化鋁 |
| 尺寸 | 12インチ用ハンド外形350×220 mm、厚み3 mm |
こちらは、12インチのウエハを吸着させるハンドです。 当社のマシニングセンターを使用して、ウエハを吸着するための3カ所の長穴形状の吸着穴（溝幅1mm）を加工しました。従来のPeriZacでは、外周3 mmのウエハ保持部は、テフロンテープ仕様でしたが、この製品は、アルミナ一体仕様です。アルミナ一体型製品のため、高温環境下での使用が可能です。吸引ポートは1カ所あり、Φ2の空洞部に通じる穴を加工しています。取付穴は6カ所あり、皿ザグリ加工を行っています。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
