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ベルヌーイハンド（LeviZac）8インチの水中でのウエハ保持

2022.11.18

8インチベルヌーイハンド（LeviZac）の水中でのウエハ保持動画です。4箇所の噴き出し穴から水を噴き出すことでウエハを保持しています。ウエハは、外周3 mm程度の4箇所のガイドで保持しています。水中での使用が可能です。

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