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トレイ式ハンド(UniZac-Obon®)12インチの搬送動画

2023.06.05

12インチ トレイ式ハンド(UniZac-Obon®)のウエハ搬送動画です。ウエハ底面の外周と側面の一部でウエハを保持し、搬送しています。金属のハンドに比べて、たわみが少ないことが特徴です。大気と真空の両方の環境で使用が可能です。

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