세라믹 소재 개발, 디자인, 제조 분야의 전문가들이 선보이는 영상!
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トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）12インチの搬送動画
12インチ トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）のウエハ搬送動画です。ウエハ底面の外周と側面の一部でウエハを保持し、搬送しています。金属のハンドに比べて、たわみが少ないことが特徴です。大気と真空の両方の環境で使用が可能です。
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吸着ハンド（UniZac-air®）12インチの搬送動画
12インチ 吸着ハンド（UniZac-air®）のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。
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SiC 실리콘 카바이드 다공성 척의 흡착 테스트
SiC 탄화규소(AZPS40) 다공질 척의 흡착 동영상입니다. AZPS40은얇은 필름의 흡착이 우수합니다. 또한,열충격・내약품성이 뛰어납니다.정전기 제거 정도의 도전성이 있습니다. 부분 흡착이 가능합니다.
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베르누이 핸드(LeviZac) 8인치 수중 웨이퍼 유지
8 인치 베르누이 핸드 (LeviZac)의 수중에서의 웨이퍼 유지 동영상입니다. 4 개소의 분출 구멍으로부터 물을 분출하는 것으로 웨이퍼를 유지하고 있습니다. 웨이퍼는, 외주 3 mm정도의 4개소의 가이드로 유지하고 있습니다. 수중에서의 사용이 가능합니다.
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다공질 세라믹 비접촉 부상 스테이지
Φ300의 더미 웨이퍼(100g)를 다공질 척에 의해 부상시키고 있는 동영상입니다. 다공성 세라믹 전면에서 공기를 불어 넣음으로써 반송품을 비접촉으로 부상시킬 수 있습니다. 접촉에 의한 상처가 붙기 어려워집니다.
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베르누이 핸드(LeviZac) 12인치 반송 동영상
12인치 베르누이 핸드（LeviZac）의 웨이퍼 반송 동영상입니다. 4 개소의 분출 구멍으로부터 에어를 분출하는 것으로 웨이퍼를 유지하고 있습니다. 웨이퍼는, 외주 3 mm정도의 4개소의 가이드로 유지하고 있습니다. 베르누이 핸드(LeviZac)를 회전시켜도 웨이퍼를 유지할 수 있습니다. 위에서 웨이퍼를 흡입하면서 반송할 수 있습니다.
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대형 다공성 척을 이용한 흡착력 테스트
대형 다공질 척의 흡착 동영상입니다. 흡착 면적이 넓기 때문에 많은 워크를 흡착할 수 있습니다. 다공성 세미 럭스 AZP60은 부분 흡착이 가능합니다. 얇은 필름의 흡착에 적합합니다.
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고온, 강산, 강알칼리 분위기용 다공질 세라믹스 버블러
다공질 세라믹의 버블러 동영상입니다. 주로 수중에서 이용이 가능합니다.미크론 사이즈의 기공에 의해 미세한 기포를 발생합니다. ※기포 사이즈는, 가스・액체등의 상태나 분위기에 의해 다릅니다.
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다공성 세라믹 버블러
다공질 세라믹 AZPS40의 버블러 동영상입니다. 주로 수중에서 이용이 가능합니다.미크론 사이즈의 기공에 의해 미세한 기포를 발생합니다. ※기포 사이즈는, 가스・액체등의 상태나 분위기에 의해 다릅니다.
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다공성 세라믹 다방향 필름 흡착 핀셋
필름상 워크의 흡착 핀셋의 동영상입니다. 다공질 세라믹으로 흡착하는 것으로, 얇은 필름에 주름이나 흡착흔이 붙기 어렵습니다.
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세라믹 디자인 실험실 자체 개발 얇은 다공성 척의 흡착 테스트
외경 Φ32, 두께 2mm의 얇은 다공질 척의 흡착 동영상입니다. 얇은 필름을 흡착시킬 수 있습니다. 부분 흡착이 가능합니다.
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흡착력이 향상된 신개발 콜릿
흡착 직경 Φ2의 다공질 세라믹 콜릿의 동영상입니다.무거운 공작물을 흡착할 수 있습니다.
(기판 사이즈 □10mm, 280mg)
실제 환경에서 테스트가 가능합니다.꼭 부담없이 문의해 주세요. -
両面吸着多孔質チャックの吸着テスト動画
両面吸着多孔質チャックの吸着テスト動画です。名刺やカプトンフィルムを多孔質の両面で同時に吸着可能です。多孔質は、AZP60とAZPS40でなので、部分吸着が可能です。両面吸着ができるので、マシニングのワークセットの際の固定用治具として利用が可能です。段取り替えが不要のため、工数削減やコストダウンにつながります。
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