흡착 핸드의 공동 일체화 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 내열성 향상,공수 절감,긴 수명화,비용 절감,아웃 가스 억제
웨이퍼 반송 핸드에 있어서의 정전기 대책·아웃 가스 대책
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 내열성 향상,정전기 대책,표면 저항값 제어,아웃 가스 억제
휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 휨 웨이퍼 대책,생산성 향상(처리량 향상)
마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 내마모성 향상,생산성 향상(처리량 향상),공수 절감,비용 절감
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,정전기 대책,불량률 감소