웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상,내마모성
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 웨이퍼의 상처 방지,위치 어긋남 방지,접촉 피해 억제,수율 향상
휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 휨 웨이퍼 대책,생산성 향상(처리량 향상)
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,정전기 대책,불량률 감소