워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안
제품 종류: 소성용 세터
제안 효과: 접촉 피해 억제,기능성 향상,불량률 감소,수율 향상
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상,수율 향상
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 웨이퍼의 상처 방지,위치 어긋남 방지,접촉 피해 억제,수율 향상
휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,흡착흔 억제,수율 향상,파티클 대책