VA・VE제안 사례

Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상

휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 휨 웨이퍼 대책,위치 어긋남 방지,기능성 향상,수율 향상

휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드

제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,흡착흔 억제,수율 향상,파티클 대책

휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD

제안 효과： 휨 웨이퍼 대책,생산성 향상(처리량 향상)

정전기 대책 PAD 제안

제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD

제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,정전기 대책,불량률 감소