「접촉 피해 억제」 목록
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2022.12.05워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안
제품 종류： 소성용 세터
제안 효과： 접촉 피해 억제,기능성 향상,불량률 감소,수율 향상
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2022.12.05금속으로부터 도전성 세라믹으로의 웨이퍼 반송 핸드의 재질 변경에 의한 접촉 데미지의 저감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 접촉 피해 억제,마모 방지,오염 방지
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2022.12.05PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지,위치 어긋남 방지,접촉 피해 억제,수율 향상
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