코팅 변경으로 인한 정전기 확산 핸드의 불량률 감소
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 오염 방지,정전기 대책,스파클링 방지,불량률 감소
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상,내마모성
고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 기능성 향상,정전기 대책,표면 저항값 제어
웨이퍼 반송 핸드에 있어서의 정전기 대책·아웃 가스 대책
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 내열성 향상,정전기 대책,표면 저항값 제어,아웃 가스 억제
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,정전기 대책,불량률 감소