웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상,내마모성
금속으로부터 도전성 세라믹으로의 웨이퍼 반송 핸드의 재질 변경에 의한 접촉 데미지의 저감
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 접촉 피해 억제,마모 방지,오염 방지
마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 내마모성 향상,생산성 향상(처리량 향상),공수 절감,비용 절감