500角吸着用 大型多孔質チャック(多孔質AZP60、本体アルミ)
산업: 반도체,광학 장비,화학·소재,영화,기타
재질: 다공성 세라믹(포러스 세라믹)
両面吸着多孔質チャック(本体:アルシーマ、多孔質:表面AZP60、裏面AZPS40)
산업: 반도체,로봇·장치,광학 장비
재질: アルシーマL,다공성 세라믹(포러스 세라믹)
6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック(多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ)
산업: 반도체,산업 기계,영화
재질: ブラックアルミナ,다공성 세라믹(포러스 세라믹)
6인치 웨이퍼 흡착용 다공질 알루미나 척(본체 A5052)
산업: 반도체,산업 기계,영화
재질: 다공성 세라믹(포러스 세라믹)
다공질 SiC 척(본체 알루미나)
산업: 산업 기계,영화,대학·연구기관
재질: 고순도 알루미나,다공성 세라믹(포러스 세라믹)