12인치 웨이퍼 반송용 트레이식 핸드(UniZac-Obon®)
산업: 반도체
재질: 고순도 알루미나
8인치 웨이퍼 반송용 트레이식 핸드(UniZac-Obon®)
산업: 반도체
재질: 고순도 알루미나
정전기 확산 코팅 웨이퍼 반송 핸드
산업: 반도체
재질: 정전기 확산 알루미나,고순도 알루미나
4인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드
산업: 반도체
재질: 고순도 알루미나
다공질 SiC 척(본체 알루미나)
산업: 산업 기계,영화,대학·연구기관
재질: 고순도 알루미나,다공성 세라믹(포러스 세라믹)