상품명 | UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド |
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분류 | トレイ式標準ハンド |
용도 | ウエハ搬送(大気用・真空用) |
재료 |
高純度アルミナ 炭化ケイ素 コルシード |
특징 |
高耐熱性 高強度 薄型化 |
크기 |
12インチ:外形354×200 mm、厚み4 mm 8インチ:外形285×140 mm、厚み3 mm |
이 제품의 특징
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"의 특징
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・高耐熱性
・薄型化
・軽量化
・たわみが少ない
・耐久性が向上
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"의 형상
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図1は、12インチのUniZac-Obon® の外観形状です。取付穴は、ご希望の位置やサイズで製作可能です。
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図2は、8インチのUniZac-Obon® の外観形状です。取付穴は、ご希望の位置やサイズで製作可能です。
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"의 사례·실적
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"의 도면 다운로드
UniZac-Obon 8인치
(유니작 오본 8인치)
- 짧은 배송 시간
- 향상된 내구성
- 트레이 유형
- 내열성
- 대기용
- 진공용
- 처짐
- 고강도
- 경량
경량화·박형화를 실현
UniZac-Obon 12인치
(유니작 오본 12인치)
- 짧은 배송 시간
- 향상된 내구성
- 트레이 유형
- 내열성
- 대기용
- 진공용
- 처짐
- 고강도
- 경량
경량화·박형화를 실현
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"의 동영상
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トレイ式標準ハンド(UniZac-Obon®)12インチの搬送動画
12インチ トレイ式標準ハンド(UniZac-Obon®)のウエハ搬送動画です。ハンドは、ウエハ底面の外周と側面の一部でウエハを保持する形状です。金属のハンドに比べて、たわみが少なく、軽量です。大気と真空の両方の環境で使用ができます。
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"에 대한 자주 묻는 질문
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兼用ハンドの製作はできます。8インチ・6インチ用、6インチ・4インチ用の兼用ハンドの製作も可能です。
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製作は可能です。2~12インチサイズのUniZac-Obon®の製作が可能です。
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反転搬送ができません。UniZac-Obon® は、トレイ式のため、水平搬送に適しています。反転搬送ができるハンドは、UniZac-air®、PeriZac®、LeviZac®になります。
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できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。
金属のハンドに比べて、たわみが少ないことが特徴です。アルミナ、炭化ケイ素、コルシードの素材で製作が可能です。薄型化に対応でき、軽量化を実現しました。空洞一体品に比べて、製作期間は短いです。