ロボットテストセンターでは何ができますか。

ウェハの搬送ロボットがあるため、搬送テストが可能です。例として、搬送中の振動確認、搬送回数に応じたウエハの位置ズレ（繰り返し精度）の計測、ウエハ裏面への傷の付き方の確認等。お客様との打ち合わせの中で、追加対応することも可能です。詳細については、お問い合わせください。