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試作品UniZac-Obon®の軽量化品のご紹介

ウエハ搬送ハンド 2024.07.03

試作品のオリジナルハンドUniZac-Obon®について、内部に空洞部を複数設けることで、約10 %の軽量化に成功しました。詳細は以下をご覧ください。



 

   
   
     
   

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トレイ式ハンドUniZac-Obonの応力たわみ解析結果 

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いつもお世話になり、ありがとうございます。

セラミックスデザインラボを運営しているアスザックです。

 

アスザックでは、搬送ハンド内部に空洞を設け、ハンドの軽量化を行うことが可能です。オリジナルハンドUniZac-Obonについて、内部に空洞部を複数設けることで、約10 %の軽量化に成功しました。軽量化したUniZac-Obonは、試作品となりますので、詳細はお問い合わせください。

以下に、UniZac-Obonの空洞部無し品(①と②)と空洞部有り品(③)について、SolidWorks解析ソフトを使用して、12インチのシリコンウエハを乗せた際の応力たわみ解析を行った結果をご紹介いたします。

解析結果

※本データはCAE解析により得られたデータです。

 値の活用に際しては、安全率等加味してご活用願います。
考察

変位(たわみ量)は、②>①>③ の順になりました。

応力は、②>①>③ の順となりました。
②と③を比較して、ハンドの厚みを減らした②の場合は、重量減少分より断面係数の減少分の方が大きく、たわみが大きくなると考えられます。


③の空洞部有りの場合は、中立軸付近を肉抜きすることで、断面係数がほとんど変化せず、重量減少するため、たわみが小さくなると考えられます。

 

③の空洞部有り品のほうが、空洞部無し品に比べて、たわみが小さく、壊れにくいという結果になりました。

   

①: UniZac-Obon 空洞部無しの製品形状

②: UniZac-Obon 空洞部無し・厚み変更の製品形状

③: UniZac-Obon 空洞部有りの製品形状

解析条件

   
   

UniZac-Obonのハンド内部に空洞部を設けることで、約10 %の軽量化が

できました。たわみは、約25 %改善できました。

ロボット・装置の省エネ化や、搬送スピード向上による生産性アップが

期待できます。

UniZac-Obon軽量化の導入は如何でしょうか

   
   
   
   
   
   
   
 

 
 

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