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試作品UniZac-Obon®の軽量化品のご紹介

ウエハ搬送ハンド 2024.07.03

試作品のオリジナルハンドUniZac-Obon®について、内部に空洞部を複数設けることで、約10 %の軽量化に成功しました。
詳細は以下をご覧ください。



 

   
   
     
   

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トレイ式ハンドUniZac-Obonの応力たわみ解析結果 

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いつもお世話になり、ありがとうございます。

セラミックスデザインラボを運営しているアスザックです。

 

アスザックでは、搬送ハンド内部に空洞を設け、ハンドの軽量化を行うことが可能です。オリジナルハンドUniZac-Obonについて、内部に空洞部を複数設けることで、約10 %の軽量化に成功しました。軽量化したUniZac-Obonは、試作品となりますので、詳細はお問い合わせください。

以下に、UniZac-Obonの空洞部有り無しの製品について、SolidWorks解析ソフトを使用して、12インチのシリコンウエハを乗せた際の応力たわみ解析を行った結果をご紹介いたします。

   

UniZac-Obon 空洞部無しの製品形状

UniZac-Obon 空洞部有りの製品形状

重量

空洞部無し品:325.32 g

空洞部有り品:296.82 g

解析条件

   

解析結果(変位)

空洞部無し製品の最大変位は、0.541 mm

空洞部有り製品の最大変位は、0.408 mm

解析結果(応力)

空洞部無し製品の最大応力は、11.487 MPa

空洞部有り製品の最大応力は、6.150 MPa

解析結果のまとめ

※本データは、CAE解析により得られたデータです。

 値の活用に際しては、安全率等加味してご活用願います。
   

UniZac-Obonのハンド内部に空洞部を設けることで、約10 %の軽量化が

できました。たわみは、約25 %改善できました。

ロボット・装置の省エネ化や、搬送スピード向上による生産性アップが

期待できます。

UniZac-Obon軽量化の導入は如何でしょうか

   
   
   
   
   
   
   
 

 
 

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