反りウエハ対応の空洞一体型搬送ハンド「UniZac-air®」の技術コラム

ウエハ保持部に段差を設けたことで、反りウエハを吸着させやすくした搬送ハンドです。
詳細は以下をご覧ください。

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4～8インチの反りウエハ対応

空洞一体型搬送ハンド「UniZac-air® 」

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いつもお世話になり、ありがとうございます。

先日リリースした1.2 mm薄型ハンドは、お客様より多くの反響を頂きました。お客様からのお声の中で、反りウエハを吸着させやすくしたいとご要望を頂きました。そこで、アスザックでは、フラットな形状の1.2ｍｍの薄型ハンドから、先端2箇所に0.6 mmの段差を設けた形状に改良いたしました。

先端に段差を設けることで、 ウエハとの接触面積が少なくなり、

反りウエハを吸着させやすくしました

◆特長◆

・ウエハ保持部に段差を持つ

　空洞一体型ハンド

・カセット内でのウエハの接触防止

・4～8 インチの反りウエハに対応

空洞一体型搬送ハンド

UniZac-air®

（反りウエハ対応タイプ）

現状製作可能サイズは、長さ160×幅70×厚み根本側1.2、厚み先端部1.8 [mm]までとなります。さらに大きなサイズは開発中となります。貴社ハンドに適用要望がある場合、弊社にて設計対応いたしますのでお気軽にご相談ください。

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