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SiC 炭化ケイ素 多孔質チャックの吸着テスト

2022.11.29

SiC 炭化ケイ素（AZPS40）多孔質チャックの吸着動画です。AZPS40は、薄いフィルムの吸着に優れています。さらに、熱衝撃・耐薬品性に優れています。静電気除去程度の導電性があります。部分吸着が可能です。

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