ベルヌーイハンド（LeviZac）12インチの搬送動画

2022.11.18

12インチベルヌーイハンド（LeviZac）のウエハ搬送動画です。 4箇所の噴き出し穴からエアーを噴き出すことでウエハを保持しています。ウエハは、外周3 mm程度の4箇所のガイドで保持しています。ベルヌーイハンド（LeviZac）を回転させてもウエハの保持ができます。上からウエハを吸い付けながら搬送することができます。

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