產品名稱 | 4~8インチウエハ吸着用 薄型1.2 mmロボット搬送ハンド(UniZac-air®) |
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行業 |
半導體 機器人/設備 |
產品類別 | 晶圓搬運手(機械手吸盤手) |
材料 | 高純氧化鋁 |
尺寸 | 3~8インチ用ハンド外形158×74 mm、 厚み1.2 mm |
こちらは、4~8インチ用の吸着タイプの搬送ハンドです。当社の加工技術力の向上により、厚み1.2 mm、ウエハ保持部の面粗度をRa0.8(バフ)に仕上げました。図1に、外形形状を示しました。先端の2ヶ所の長穴形状の吸着穴でウエハを吸着します。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。