| 產品名稱 | 高耐熱性12インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド（UniZac-air®） |
|---|---|
| 行業 |
半導體 機器人/設備 アニール工程 エピタキシャル工程 CVD工程 洗浄工程 |
| 產品類別 | 晶圓搬運手（機械手吸盤手） |
| 材料 |
高純度碳化硅 SiC（碳化硅） |
| 尺寸 | 外形330×104 mm、厚み3.5 mm |
こちらは、12インチウエハ吸着用 SiCロボット搬送ハンドです。ウエハ保持部の面粗度はRa0.8に仕上げてあります。吸着用の穴は、空洞部に通じるザグリ穴で、Φ4深さ2.05になります。根本の取り付け穴はΦ5の4か所です。吸引ポートは、1か所でΦ5の貫通穴です。材質がSiCのため、耐熱性を必要とする工程（エッチャー・CVD・ALD・アニールなど）や耐薬品性を求める工程（洗浄工程）、導電性を求める工程（静電気対策）にて使用ができます。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、SiC原料の造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
