| 產品名稱 | LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式) |
|---|---|
| 分類 | 浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式) |
| 用法 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 材料 | 高純度アルミナ |
| 特徵 |
I型かつ薄型のため、狭いカセットピッチへのウエハ搬送が可能 4～8インチの薄反りウエハの搬送が可能 複数のガイドでウエハの保持が可能 |
| 尺寸 |
外形180×30 mm、厚み2 mm 外形226×85 mm、厚み2 mm 外形228×70 mm、厚み2 mm |
本產品的特點
"LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)"的特點
-
左の写真は、総厚2 mmのI型形状の搬送ハンドです。
・薄反りウエハの搬送が可能
・8箇所のガイドでウエハを保持
・反転動作が可能
・4～8インチのケガキ線付き -
左の写真は、総厚2 mmのしゃもじ形状の搬送ハンドです。
・空洞内部に静電気拡散アルミナコートのADC膜を施し、パーティクルの発生を抑制
・3箇所のガイドでウエハを保持
・反転動作が可能
-
左の写真は、総厚2 mmのY形状の搬送ハンドです。
・空洞内部に静電気拡散アルミナコートのADC膜を施し、パーティクルの発生を抑制
・4箇所のガイドでウエハを保持
・反転動作が可能
"LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)"的形狀
-
図 1は、I型LeviZac®(薄型) の外観です。
8 箇所の噴き出し穴とガイドがあります。 -
図 2は、I型LeviZac®(薄型) の断面図です。
ハンド根本の吸引ポートに、圧縮空気を送ることで、ベルヌーイ効果により得た引力でウエハを保持します。
"LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)"實例及成果
-
2024.07.16
ケガキ線付き4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）
行業: 半導體機器人/設備光學設備
材料: 高純氧化鋁
-
2023.10.174～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）
行業: 半導體機器人/設備光學設備
材料: 高純氧化鋁
-
2023.12.28
4～6インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート
行業: 半導體機器人/設備
材料: 高純氧化鋁
-
2023.12.28
4～5インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート
行業: 半導體機器人/設備
材料: 高純氧化鋁
"LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)"常見問題解答
-
ガイドの耐熱温度が100℃のため、それ以上の温度での使用は難しいです。
高温環境下での使用の場合は、ガイドの素材と本体をアルミナ一体型にした形状でご提案させていただきます。
詳細は、お問い合わせください。詳細はこちら→ -
ワークの上面を保持して、水平姿勢で搬送できます。LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンドは、8箇所のガイドでワークを保持します。ワークの上面を上から引き付け、保持し、搬送ができます。
-
デモ機はあります。無料で貸し出しできます。貸し出し期間は、約２週間です。詳しくはお問い合わせください。詳細はこちら→
-
当社のオリジナルハンドであるLeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)をご提案させていただきます。総厚2 mmの薄型ハンドであり、狭いキャリア内へウエハの出し入れが可能です。さらに、薄型で軽量のため、ロボットの軽量化や省スペース化、省エネ化が見込めます。
