코팅 변경으로 인한 정전기 확산 핸드의 불량률 감소
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 오염 방지,정전기 대책,스파클링 방지,불량률 감소
워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안
제품 종류: 소성용 세터
제안 효과: 접촉 피해 억제,기능성 향상,불량률 감소,수율 향상
마스크의 세라믹화 제안
제품 종류: 기타
제안 효과: 왜곡 억제,비용 절감,불량률 감소
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 웨이퍼의 상처 방지,휨 웨이퍼 대책,정전기 대책,불량률 감소