| 產品名稱 | UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド |
|---|---|
| 分類 | 吸着ハンド |
| 用法 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 材料 | 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素 |
| 特徵 |
・薄ウエハに対して、平滑面で吸着可 ・吸着痕が付きづらい ・薄く柔軟性のある反りウエハの吸着可 |
| 尺寸 |
12インチ：外形350×220×3.5 mm 8インチ：外形280×140×3.5 mm |
本產品的特點
"UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド"的特點
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・薄反りウエハの搬送が可能
・ウエハに吸着痕がつきにくい
・狭いカセットピッチにも対応可能
"UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド"的形狀
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図1は、12インチのUniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドの外観形状です。3箇所の多孔質でウエハを吸着・保持します。
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図2は、8インチのUniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドの外観形状です。3箇所の多孔質でウエハを吸着・保持します。
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図3は、UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドのA-A断面図（図1、図2参照）です。本体に多孔質セラミックスを接着剤で接着する仕様です。
"UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド"實例及成果
"UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド"下載圖
UniZac-Pair 12寸
（UniZac-Pair 12寸）
能夠保持輕微翹曲的晶圓
UniZac-Pair 8寸
（UniZac-Pair 8寸）
能夠保持輕微翹曲的晶圓
"UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド"常見問題解答
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UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドでは、多孔質でウエハを吸着保持します。そのため、吸着時のウエハの変形を最小限にすることができます。
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UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンドをご提案させていただきます。
多孔質は、微細孔のため、吸着穴や樹脂パッドと比較して、テープに吸着痕が付きにくいです。 -
接着剤を使用しています。本体と多孔質を接着する際に使用します。
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製作は可能です。4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
詳細はお問い合わせください。 -
反転搬送ができます。3箇所の多孔質でウエハを吸着保持します。
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設計は可能です。装置の形状に合わせて、設計提案させていただきます。詳細はお問い合わせください。
