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問題翹曲的晶圓
晶圓划痕
錯位 -
擬議效果晶圓翹曲對策
防止錯位
改進的功能
提高產量 -
產品類別晶圓傳送手
客戶的疑慮和問題 / 之前
我們的建議及改善效果 / 完成後
因此，在“Ceramics Design Lab”，我們提出了用於8英寸晶圓傳輸的Bernoulli hand LeviZac®，它可以穩定地保持翹曲晶圓並抑制晶圓錯位。
因此，我們能夠減少由於吸力不足和真空洩漏導致的翹曲晶圓數量，以及由於未對準造成的划痕、破損和缺陷，從而提高良率。
建議示例的要點/要點
本例的重點是可以穩定地保持翹曲的晶圓，減少晶圓的位置偏差。
在設計用於翹曲晶圓的傳送手時，需要考慮減少吸力不足和真空洩漏。
ASUZAC Co., Ltd.的精密陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”，處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔.增加.我們還可以建議材料的選擇，例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術，具有耐熱性和導電性的陶瓷材料，以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。
如果您對翹曲的晶圓轉移或晶圓未對準有任何問題，請隨時與我們聯繫。
來自半導體/FPD相關設備製造商的客戶，“在檢查/清潔過程中運送翹曲的晶圓時，晶圓可能會因吸力不足而掉落。此外，還存在晶圓未對準的問題。您對我們有什麼建議嗎？”，於是我們收到了來自我們公司的詢問，我們公司在製造轉移手上有豐富的經驗。