자주 하는 질문

오리지널 핸드의 데모기의 대출은 가능합니다.
흡착 핸드용 이젝터를 준비하고 있습니다. 압축 에어가 있는 환경이라면, 곧바로 사용하는 것이 가능합니다. 장치 설치에 리스트 블록 등 필요한 경우는 당사에서 작성하는 것도 가능하므로 부담없이 상담해 주십시오. 대여 라인업이 있으므로 자세한 내용은 문의하십시오.

>>데모기 대출에 관한 문의는 이쪽

가능합니다.
일반적으로 홈에 센서를 설치하고 있습니다. 또, 특수한 예로서는, 반송 핸드의 측면에 기어 있게 하는 센서나, 공동 내부에 센서를 통과시키는 타입도 있습니다. 센서를 설치하고 싶은, 센서 첨부의 반송 핸드를 준비하고 싶은 등의 요구가 있으면, 부담없이 문의해 주세요.

다공성 척 데모 기계의 대출은 가능합니다.
대여 라인업이 있으므로 자세한 내용은 아래 링크를 참조하십시오.
사용 용도에 따라 제안하겠습니다 때문에 문의하십시오.

>>다공질 척의 데모 기계 신청은 이쪽

재질에 따라 제작 사이즈는 다릅니다만, 최대 제작 실적으로서는 AZP60으로 다공질 사이즈 500×500×10 mm가 있습니다.

>>대응 가능한 제품 사이즈는 이쪽

더미 웨이퍼로서는, 알루미나나 알시마(당사 오리지날 소재)로 제작 실적이 있습니다.
아르시마는 비중이 2.41g/cm^3로 실리콘 웨이퍼의 비중과 가깝기 때문에 취급하기 쉬운 소재로 되어 있습니다.
각각 고객의 이용에 맞추어 각 인치마다 제작 가능하며, 두께도 0.3mm나 0.7mm 등 필요한 사이즈를 제작합니다.

파형이나 V형의 세터를 제안하겠습니다. V형 세터의 예에서는 외형 140mm×100mm, 두께 8mm, V자 각도 112.6°, 피치 120mm(P12×10)로 제작이 가능합니다. 파형이나 V형의 세터 위에 워크를 올려 소성하는 것으로, 세터와 워크의 반응을 최소한으로 억제할 수 있습니다.

다공성 척으로 종이와 일본 종이의 흡착은 어렵습니다. 표면에 요철이있는 소재이면 거기에서 누출되어 흡착하는 것이 어렵습니다. 예를 들면 흡기하고 있는 상태에서 워크를 다공질 척에 밀어붙이거나, 흡착 대상의 두께나 표면 상태에 따라서는 흡착 가능한 일도 있으므로, 데모기를 시험해 주세요.

>>다공질 척의 데모 신청은 이쪽

웨이퍼 두께나 휨량에 따라 바뀌지만, 당사의 베르누이 핸드나 다공질 핸드가 휨 웨이퍼 대책으로서 라인 업하고 있습니다. 웨이퍼를 맡겨 당사의 로봇 테스트 센터에서의 반송 테스트도 가능해지므로, 어려움이 있으시면 우선 문의해 주십시오.

>>VA・VE 제안 사례는 이쪽

가능합니다.
개선 사례로서, 핸드에 금속제의 암을 달아, 웨이퍼를 반송이나 반출에 사용해 주시고 있는 손님도 계십니다.

입자간 공극 등의 공간을 포함하는 양을 나타내는 척도입니다. 물질의 전체 부피에서 차지하는 공간의 부피 비율로 정의됩니다.

당사의 다공질 세라믹스는 기공률 등 다양한 것이 있으므로 고객의 사용 환경에 맞게 적절한 것을 제안하겠습니다. 꼭 한번 상담해 주십시오.

>>상담・문의는 이쪽

저열전도성의 아르시마 L(오리지날 소재)가 있습니다. 통상의 알루미나 세라믹스 등에 비해 열충격에 강하고 저열팽창 저열전도인 것이 특징인 세라믹스입니다. 단열이나 열원 주변의 열확산 방지 등의 용도에 이용하실 수 있습니다. 샘플의 대출이 가능해지고 있으므로, 부담없이 문의해 주세요.

알루미나의 경우 길이 4000mm, 폭 70mm, 두께 50mm가 기준이 됩니다.
SiC의 경우 500mm×500mm×5mm가 기준이 됩니다.
다른 소재에서는 300mm×300mm×10mm가 기준이 됩니다.
상기 사이즈 내에서도, 제품 형상에 따라서는 제작할 수 없는 경우가 있기 때문에, 문의해 주세요.

>>대응 가능한 제품 사이즈는 이쪽

반도체 제조 장치·액정 제조 장치의 전 공정·후 공정 전반에 실적이 있습니다.
특히 반송 핸드에 대해서는 폭넓게 사용 받고 있습니다.
그 밖에도, 핀등의 소품 ​​부품으로부터 트레이나 4m 사이즈의 대형 파트도 실적이 있습니다.
자세한 내용은 제품 카테고리를 참조하세요.

>>당사의 주문 제작 사례는 이쪽

알루미나는 약 1000℃, 탄화규소는 약 2000℃ 정도입니다. 순도와 등급에 따라 약간 다르므로 자세한 내용은 문의하시기 바랍니다.

실적이 있는 형상에서는, 외치수 245 mm×135 mm, 내치수 225 mm×115 mm, 높이 50 mm, 깊이 40 mm의 제작이 가능합니다. 끼워 맞춤이 필요한 경우 밑면에 Φ5의 원형 니게 형상을 제작할 수 있습니다. 다른 크기는 문의하시기 바랍니다.

세라믹 중에서 다공질 세라믹은 탈지성이 높은 것이 됩니다. 그 중에서도 특히 AZPW40이나 AZPV60과 같은 기공 직경이 크거나 구조적으로 통기성이 높은 소재는 탈지성이 높아집니다. 탈지성이 높은 세터를 사용하여 제품의 균열이나 부족이 개선된 사례가 있습니다.

가능합니다. 토양 연구에서 AZPS40이 사용됩니다. 통기율이 높은 소재는 물을 통과하기 쉽습니다. 샘플의 대출이 가능하므로, 시험해 주세요.

>>다공질 척의 데모 신청은 이쪽

반사율은 파장 240~2600nm에서 5.1~15.3%입니다. 블랙 알루미나는 강도, 내구성을 유지하면서 표면 반사를 억제할 수 있습니다.
현미경이나 검사장치 등 저반사가 요구되는 용도로 블랙 알루미나가 사용됩니다.

당사에서는, 알루미나 소재로 Φ200mm×두께 2 mm의 경우, 평행 평면도는 0.05 mm의 가공이 가능합니다. 크기와 두께와 재질에 따라 다르므로 자세한 내용은 문의하십시오.

>>상담・문의는 이쪽

재질이나 형상에 의합니다만, 최박 1 mm까지 제작 가능합니다.

폐사제 소재에 대해서는 가능합니다.
구멍이나 자구리의 추가공과 같은 일반적인 내용으로부터, 코팅이나 블라스트 등의 표면 처리에 대해서도 대응합니다.
현재 사용하고 있는 제품에 대한 과제나 곤란에 대해 상담해 주시면, 신규 제작・추가 공문 없이 제안하겠습니다.

일체품으로 내부에 공동을 생성하는 당사 오리지날 기술입니다.
통상, 흡착용 유로는 접합 방식으로 제작되지만, 공동 일체에서는 접합하지 않고 공동 생성이 가능합니다.
접착제를 사용하지 않아 누출될 염려가 없습니다. 또 고온하에서의 사용이나, 아웃 가스 대책, 부착 쓰레기 대책에도 유효합니다. 접착에 비해 긴 수명이 됩니다.
자세한 내용은 다음 페이지를 참조하십시오.

>>공동 일체 성형 기술에 대해 자세히 알아보기

가능합니다. 당사에서는 세라믹스에 직접 나사 가공을 실시해, 헬리콥트(인서트·텅스)의 대응도 실시하고 있습니다.
그 밖에도, 금속 부시의 접착 대응도 실시하고 있으므로, 고객의 용도에 맞추어 대응하겠습니다.
가공이나 조립 후의 나사의 토크 시험 등도 실시하고 있어, 보통, 세세도 대응이 가능하므로, 꼭 문의해 주세요.

가장 부족한 모서리 부분은 C면과 R 모따기를 권장합니다. 당사에서도 C 모따기 (0.2 ~ 0.3 정도)와 R 모따기 가공을 실시하고 있습니다. 또, 구멍구멍의 부족이나 균열 대책을 위해, 구멍의 입구원은, C모따기 C1을 추천하고 있습니다.
또 재질이나 형상에 따라서는 열충격에 의한 균열도 있으므로, 전문의 스탭이 재질의 제안이나 제품에 맞추어 제안하겠습니다. 꼭 한번 문의해 주세요.

홈 가공은 가능합니다. 단, 핀각의 홈 가공은 어렵기 때문에, R 형상이 됩니다. 기본적으로는 치밀질 세라믹과 동등한 가공이 가능합니다만, 다공질 세라믹 쪽이 취약한 재질 때문에, 제품 사이즈나 가공 내용에 따라서는 어려운 것이 있습니다. 제작하고 싶은 것이 있으시면, 꼭 한번 문의해 주세요.

가능합니다. F/f/H/h 규격이 대응 가능합니다. 관통한 구멍이나 트랙 형상 외에 깊은 좌석 형상도 대응하고 있습니다. 높이(깊이)에 따라 하공과 유효 깊이가 발생하는 경우가 있습니다.
구멍은 F와 H 규격이 대응 가능합니다. 위치 결정으로 곤란한 고객에게도 대응 가능합니다.

형상이나 재질에 의합니다만, 당사의 평면 연삭반을 이용해, 0.3 mm의 얇은 가공 실적이 있습니다.
얇아지면 깨지기 쉬워지거나 잔류 응력에 의해 휨이 발생하기 때문에 주의가 필요합니다.

표면 거칠기에 대해서는 재질이나 가공 방법에 따라 달라집니다.
예를 들면 평면 연삭반에서의 가공의 경우, 알루미나: Ra1.6 정도, 탄화규소: Ra0.4 정도가 됩니다.
미세 세라믹은 기본적으로 다이아몬드 공구를 사용하여 가공하지만, 공구의 상태와 가공 조건에 따라 달라지며 표면 거칠기의 제어는 어렵습니다.
표면을 거칠고 싶은 경우는 가공 공구·조건의 변경이나 블라스트 가공이라고 하는 방법이 있습니다. 표면을 닦고 싶은 경우는 버프 연마나 랩 가공이라고 하는 것이 가능합니다.

당사에서는 접착제를 이용한 것과 확산 접합의 2종류가 있습니다.
접착제도 유기계・무기계가 있어, 각각 고객의 사용 환경에 맞추어 제안이 가능합니다.
확산 접합에 대해서는 현재 특정의 재질(탄화규소)만 대응하고 있어, 형상에 따라서는 대응할 수 없는 경우가 있기 때문에 양해 바랍니다.

죄송합니다만, 당사에서는 원료의 판매를 취급하고 있지 않습니다.

첫회의 거래는, 선불 혹은, 대금 상환(착불)이 됩니다. 2회째 이후는 별도 상담해 주십시오.

한 번의 배송으로 제품 합계 금액이 1 만엔 미만의 경우는, 우송료로서 별도 600 엔을 부담드립니다.

당 사이트의　문의 양식　에서 보내주십시오.

죄송합니다만, 원료를 맡기고의 성형은 취급하고 있지 않습니다.

견적 의뢰→도면 확인→당사에서 검토→견적서 발행→발주→입금(선불)→제품 제작→출하→납품이라고 하는 흐름입니다. 도면이 없는 경우는 제안해 드릴 수도 있습니다. 자세한 내용은 문의하십시오.

희망의 형상이나 공장의 가동 상황에 따라 바뀌지만, 최단으로 3주일~1개월 정도로 납품하겠습니다. 자세한 내용은 문의하시기 바랍니다.

웨이퍼의 반송 로봇이 있기 때문에 반송 테스트가 가능합니다. 예로서, 반송 중의 진동 확인, 반송 횟수에 따른 웨이퍼의 위치 어긋남(반복 정밀도)의 계측, 웨이퍼 이면에 흠집이 생기는 방법의 확인 등. 고객과의 협의 중 추가 대응도 가능합니다. 자세한 내용은 문의하시기 바랍니다.

가능합니다. 전문 직원이 대응합니다. 사용 환경을 듣고 당사에서 제작 가능한 재질이나 형상 등을 제안하겠습니다. 우선은 부담없이 문의해 주세요.

중량 해석은 가능합니다.
3D CAD 화면상에서 경계 조건이나 물성치, 해석 조건을 설정하고 해석을 실시합니다. 응력 분포나 변위 분포의 해석값을 얻을 수 있으므로 임의 형상의 부품에 가해지는 응력이나 변형을 시뮬레이션할 수 있습니다. 예를 들어, 1kg의 판을 반송하고 싶은 경우, 손에 얼마나 응력이 가해지는지 해석에 의해 시뮬레이션할 수 있습니다. 반송하는 워크에 의해, 최적의 소재나 형상을 제안하겠습니다. 자세한 내용은 문의하시기 바랍니다.

가능합니다. 전문 직원이 대응합니다. 사용 환경을 듣고, 당사에서 제작 가능한 재질이나 형상 등을 제안하겠습니다. 우선은 부담없이 문의해 주세요.

가능합니다. 공정이나 장치의 불량 개선이나, 차세대 부품이나 핸드의 시제품 ​​대응은, 1품으로부터라도 대응하므로, 한 번 문의해 주세요.

당사 세라믹 제품은 기본적으로 알칼리 세정·산 세정·순수 세정을 조합한 세정을 실시하고 있습니다. 또, 요구 품질에 따라서는 통상보다 정밀한 세정도 실시하고 있습니다. 예를 들면, 금속 오염을 신경쓰는 제품에는 전용의 정밀산 세정의 대응을 실시하고 있어, 재료에 의합니다만 용출치 3ppb 이하의 수치가 되고 있습니다.