도면 다운로드
웨이퍼 이송 핸드의 2D 및 3D 드로잉 파일을 dwg 형식 또는 STEP 형식으로 다운로드할 수 있습니다(다중 선택 가능).
유용하게 사용하시길 바랍니다.
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-
LeviZac 12인치
（레비작 12인치）
- 뒤틀린 웨이퍼
- 얇은 웨이퍼
- 부양 유형
- 베르누이 방정식
- 내열성
- 대기용
- 분출 구멍
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
-
LeviZac 8인치
（레비작 8인치）
- 뒤틀린 웨이퍼
- 얇은 웨이퍼
- 부양 유형
- 베르누이 방정식
- 내열성
- 대기용
- 분출 구멍
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
-
I 모양 LeviZac4인치
（I 모양 LeviZac4인치）
- 뒤틀린 웨이퍼
- 얇은 웨이퍼
- 부양 유형
- 베르누이 방정식
- 내열성
- 대기용
- 분출 구멍
- 가이드
- 통합 캐비티
8개의 가이드가 웨이퍼를 고정할 수 있습니다
-
얇은LeviZac4인치
（얇은LeviZac4인치）
- 뒤틀린 웨이퍼
- 얇은 웨이퍼
- 부양 유형
- 베르누이 방정식
- 내열성
- 대기용
- 분출 구멍
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
-
얇은LeviZac4인치
（얇은LeviZac4인치）
- 뒤틀린 웨이퍼
- 얇은 웨이퍼
- 부양 유형
- 베르누이 방정식
- 내열성
- 대기용
- 분출 구멍
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
-
얇은LeviZac4인치
（얇은LeviZac4인치）
- 뒤틀린 웨이퍼
- 얇은 웨이퍼
- 부양 유형
- 베르누이 방정식
- 내열성
- 대기용
- 분출 구멍
- 가이드
- 통합 캐비티
좁은 카세트 폭으로 이송 가능
-
PeriZac 12인치
（페리작 12인치）
- 입자 억제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 처짐
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
-
PeriZac 8인치
（페리작 8인치）
- 입자 억제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 처짐
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 가이드
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
-
UniZac-air 12인치
（유니잭 에어 12인치）
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
유기계의 아웃 가스 대책에도 유효
-
UniZac-air 8인치
（유니잭 에어 8인치）
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
유기계의 아웃 가스 대책에도 유효
-
UniZac-air 8인치(두께1mm버전)
（UniZac-air 8인치(두께1ｍｍ버전)）
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
1mm 두께의 공동 일체형 반송 핸드
-
UniZac-air 8인치(ASiC)(두께1.9mm버전)(로고 포함)
（UniZac-air 8인치）
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
1.9mm 두께의 SiC 캐비티 통합 전사 핸드
-
UniZac-air 8인치(ASiC)(두께1.9mm버전)(장착 구멍 포함)
（UniZac-air 8인치）
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
1.9mm 두께의 공동 일체형 반송 핸드
-
UniZac-Obon 12인치
（유니작 오본 12인치）
- 짧은 배송 시간
- 향상된 내구성
- 트레이 유형
- 내열성
- 대기용
- 진공용
- 처짐
- 고강도
- 경량
경량화·박형화를 실현
-
UniZac-Obon 8인치
（유니작 오본 8인치）
- 짧은 배송 시간
- 향상된 내구성
- 트레이 유형
- 내열성
- 대기용
- 진공용
- 처짐
- 고강도
- 경량
경량화·박형화를 실현
-
UniZac-Obon 4인치
（유니작 오본 4인치）
- 짧은 배송 시간
- 향상된 내구성
- 트레이 유형
- 내열성
- 대기용
- 진공용
- 처짐
- 고강도
- 경량
경량화·박형화를 실현
-
다공성 임베디드 핸드 12인치
（다공성 임베디드 핸드 12인치）
- 뒤틀린 웨이퍼
- 얇은 웨이퍼
- 변형 방지
- 흡착흔 억제
- 흡착방식
- 다공성 매립식
- 대기용
- 통기성
- 응답성
약간 뒤틀린 웨이퍼를 유지할 수 있음
-
다공성 임베디드 핸드 8인치
（다공성 임베디드 핸드 8인치）
- 뒤틀린 웨이퍼
- 얇은 웨이퍼
- 변형 방지
- 흡착흔 억제
- 흡착방식
- 다공성 매립식
- 대기용
- 통기성
- 응답성
약간 뒤틀린 웨이퍼를 유지할 수 있음
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