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問題耐熱
靜電
表面電阻 -
擬議效果改進的功能
靜電對策
表面電阻值控制 -
產品類別晶圓傳送手
客戶的疑慮和問題 / 之前
我們的建議及改善效果 / 完成後
因此，在“Ceramics Design Lab”，我們提出了一種採用我們獨有的塗層“ADC膜”的晶圓傳送手，該塗層即使在高溫下也具有低表面電阻和出色的靜電擴散效果。
因此，我們能夠在 500 至 800°C 的高溫環境中使用它，而不會犧牲導電性。
建議示例的要點/要點
這個例子的重點是特殊塗層實現了即使在高溫下也具有低表面電阻和高靜電擴散效果的晶圓傳輸手。 ADC膜是運營“陶瓷設計實驗室”的Asuzac Co., Ltd.開發的獨特塗層技術，即使在高溫環境下也能保持低表面電阻，確保充分的靜電消散。
ASUZAC Co., Ltd. 的精細陶瓷事業部運營著“陶瓷設計實驗室”，負責從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢查和清潔的所有工作。我們還可以建議材料的選擇，例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術，具有耐熱性和導電性的陶瓷材料，以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。
如果您對由棉絨或雜質引起的缺陷有任何問題，請隨時與我們聯繫。
我們收到一家半導體製造設備製造商的請求，詢問“是否可以製造能夠承受 500 至 800°C 操作環境並具有足夠靜電消散效果的晶圓傳送手？”