VA / VE 提案示例

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通過PAD表面處理防止晶圓粘附問題的提案

  • 問題
    晶圓划痕
    晶圓貼合
    錯位
    接觸損壞
  • 擬議效果
    晶圓劃傷預防
    防止錯位
    抑制接觸損傷
    提高產量
  • 產品類別
    晶圓傳送手PAD

客戶的疑慮和問題 / 之前

使用樹脂 PAD 時,存在晶圓粘附在 PAD 上的問題,導致晶圓釋放時未對準並損壞晶圓。

我們的建議及改善效果 / 完成後

對 PAD 部件進行了表面處理,以防止 PAD 粘附在晶圓上。它還有助於防止錯位和划痕。


在ASUZAC,我們不僅加工陶瓷,還挑选和加工盡可能滿足客戶需求的零件。

  • 通過PAD表面處理防止晶圓粘附問題的提案|Ceramics Design Lab
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建議示例的要點/要點

這個例子的重點是可以通過對零件進行表面處理而不改變零件材料或形狀來添加新特性。



在ASUZAC,我們專注於材料開發和塗層開發,可以在不改變基材或零件形狀的情況下為零件添加新特性。這種方法對靜電和污染特別有效。

ASUZAC Co., Ltd. 的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”,處理從材料開發和混合到設計、生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇,例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術,具有耐熱性和導電性的陶瓷材料,以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。

如果您對現有 PAD 有任何疑問,請隨時與我們聯繫。

從陶瓷材料加工到開發始終如一的支持!

隨意地請聯繫我們!

TEL +81-26-248-1626

營業時間:9:00~17:00(星期六、星期日、節假日休息)

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  • 耐腐蝕性能
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

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  • 靜電對策
  • 提高耐熱性
  • 可移植性
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  • 防電火花
  • 提高耐化學性
  • 提高生產力
  • 防止錯位
  • 減少不良率
  • 提高生產率(提高吞吐量)
  • 耐磨性
  • 抑制接觸損傷
  • 提高產量
  • 減少工時
  • 表面電阻值控制
  • 磨損保護
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  • 抑制放氣
  • 應變抑制
  • 改善等離子抗性
  • 長壽
  • ワークの傷防止
  • 污染措施
  • 降低成本

改進的功能

  • 晶圓傳送手
  • 燒結用陶瓷墊板
  • 多孔卡盤
  • 氧化鋁蓋
  • PAD
  • 其他

晶圓傳送手

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