VA / VE 提案示例

CERAMICS DESIGN LAB > 可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案

可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案

  • 問題
    翹曲的晶圓
    晶圓划痕
    錯位
  • 擬議效果
    晶圓翹曲對策
    防止錯位
    改進的功能
    提高產量
  • 產品類別
    晶圓傳送手

客戶的疑慮和問題 / 之前

來自半導體/FPD相關設備製造商的客戶,“在檢查/清潔過程中運送翹曲的晶圓時,晶圓可能會因吸力不足而掉落。此外,還存在晶圓未對準的問題。您對我們有什麼建議嗎?”,於是我們收到了來自我們公司的詢問,我們公司在製造轉移手上有豐富的經驗。

我們的建議及改善效果 / 完成後

因此,在“Ceramics Design Lab”,我們提出了用於8英寸晶圓傳輸的Bernoulli hand LeviZac®,它可以穩定地保持翹曲晶圓並抑制晶圓錯位。

因此,我們能夠減少由於吸力不足和真空洩漏導致的翹曲晶圓數量,以及由於未對準造成的划痕、破損和缺陷,從而提高良率。

  • 可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案|Ceramics Design Lab
  • 可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案|Ceramics Design Lab

建議示例的要點/要點

本例的重點是可以穩定地保持翹曲的晶圓,減少晶圓的位置偏差。


在設計用於翹曲晶圓的傳送手時,需要考慮減少吸力不足和真空洩漏。




ASUZAC Co., Ltd.的精密陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”,處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔.增加.我們還可以建議材料的選擇,例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術,具有耐熱性和導電性的陶瓷材料,以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。

如果您對翹曲的晶圓轉移或晶圓未對準有任何問題,請隨時與我們聯繫。

從陶瓷材料加工到開發始終如一的支持!

隨意地請聯繫我們!

TEL +81-26-248-1626

營業時間:9:00~17:00(星期六、星期日、節假日休息)

面向設計師和開發人員的 VA/VE 提案示例

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  • 晶圓划痕
  • 產品更換工時
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  • 錯位
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  • 成品率
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  • 功能性
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  • 薄ウェハ

薄ウェハ

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  • 金屬污染對策
  • 提高耐磨性
  • 改進的功能
  • 晶圓劃傷預防
  • 靜電對策
  • 提高耐熱性
  • 可移植性
  • 晶圓翹曲對策
  • 防電火花
  • 提高耐化學性
  • 提高生產力
  • 防止錯位
  • 減少不良率
  • 提高生產率(提高吞吐量)
  • 耐磨性
  • 抑制接觸損傷
  • 提高產量
  • 減少工時
  • 表面電阻值控制
  • 磨損保護
  • 粒子測量
  • 吸附疤痕抑制
  • 抑制放氣
  • 應變抑制
  • 改善等離子抗性
  • 長壽
  • ワークの傷防止
  • 污染措施
  • 降低成本

改進的功能

  • 晶圓傳送手
  • 燒結用陶瓷墊板
  • 多孔卡盤
  • 氧化鋁蓋
  • PAD
  • 其他

晶圓傳送手

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