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問題接觸損壞
粉塵產生
磨耗 -
擬議效果抑制接觸損傷
磨損保護
污染措施 -
產品類別晶圓傳送手
客戶的疑慮和問題 / 之前
我們的建議及改善效果 / 完成後
因此，在“陶瓷設計實驗室”，我們提出了一種由具有與硅相同硬度的導電陶瓷（Colseed，我公司開發的材料）製成的晶圓轉移手。
因此，晶圓因接觸損傷而產生的磨損、劃傷、破損、粉塵的產生可大幅減少，從而降低不良率。
此外，由於採用導電陶瓷，具有與金屬相同的導電性，不需要導電塗層。
建議示例的要點/要點
此示例的要點是，通過將晶圓傳送手的材料從金屬更換為陶瓷材料（其硬度與硅具有相同的硬度），減少了接觸損壞。
ASUZAC Co., Ltd.的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”，處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇，例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術，具有耐熱性和導電性的陶瓷材料，以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。
如果您正在考慮將材料從金屬或樹脂產品更改為陶瓷，或者如果您在傳送手和晶圓之間的接觸方面遇到問題，請隨時與我們聯繫。
來自半導體檢測設備和運輸設備製造商的客戶，“我們在 CVD/蝕刻過程中使用金屬運輸手來運輸晶圓，但由於矽晶圓的划痕和破損，我們遇到了麻煩接觸損壞，你有什麼好的對策嗎？