-
問題變形
不良率 -
擬議效果應變抑制
降低成本
減少不良率 -
產品類別其他
客戶的疑慮和問題 / 之前
我們的建議及改善效果 / 完成後
Asuzak 提議將面具從金屬改為陶瓷。在使用陶瓷的同時,我們改變了傳統產品的掩模形狀設計,以增加可生產的晶圓數量。陶瓷掩模比金屬掩模變形小,因此缺陷率更低,成本更低。
建議示例的要點/要點
這個例子的重點是,通過從金屬換成陶瓷,我們能夠將壽命延長一倍以上。
利用陶瓷的輕質、高剛性、高強度的特性,可取得優異的效果。
ASUZAC Co., Ltd.的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”,處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇,例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術,具有耐熱性和導電性的陶瓷材料,以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。
如果您對現有薄膜沉積工藝的掩膜部件有任何問題,請隨時與我們聯繫。
在傳統沉積工藝中使用金屬掩模時,掩模會發生變形,導致缺陷增加。